新一批长江存储设备采购中，半导体设备国产化率大幅上升。北方华创的Cu互联PVD实现突破，14nm设备也获重大突破，中微公司获得长江存储9台刻蚀设备订单。另外，盛美、华海清科以及沈阳拓荆也纷纷获得半导体设备大单。

我国量测设备98%以上被KLA、应用材料、Nanometrics、HitachiHigh-Tech、ASML等垄断，国产化率不超过2%。日前，国家集成电路大基金成为上海睿励的第4大股东。上海睿励是我国首家晶圆制程量测设备供应商，膜厚量测设备产品已进入三星、长江存储、华力二期。分析认为，大基金再度出手投资制程设备供应商，表明大基金对设备与材料的支持力度正在增加。

A股上市公司中，长川科技（300604）主导产品为测试机、分选机和探针台等，在国内市场中产品体系较为完整，可覆盖晶圆制造、封测领域测试工序。精测电子（300567）与韩国IT&T合资设立的武汉精鸿电子主要聚焦自动检测设备（ATE）领域（主要产品是存储芯片测试设备），目前已实现小批量的订单。

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